본 발명은 적외선 조명 또는 전기적 신호를 적외선 이미지센서에 인가하여 적외선 이미지 센서 단위화소의 열분포를 비접촉식으로 측정하기 위한 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 본 발명의 제1 측면은 적외선 센서; 상기 적외선 센서가 탑재되고, 상부에 가시광 부터 적외선 파장대역까지 투명 윈도우를 포함하는 진공챔버를 구비하는 시료 탑재부; 상기 가시광을 적외선 센서에 조사시키기 위한 광원; 상기 적외선 센서를 주기적으로 발열을 야기 시키기 위한 구동신호를 발생시키는 전원공급부; 상기 적외선 센서의 표면으로부터 반사된 빛을 검출하는 검출부; 및 상기 검출부와 전원공급부의 구동신호를 동기화를 위한 신호발생기를 포함하는 적외선 센서의 발열분포 측정장치를 제공한다.