본 발명은, 복수개의 전자렌즈 및 각 전자렌즈에 부속하는 다수의 조정코일에 인가되는 전원의 특성을 제어하는
렌즈제어부를 가지는 TEM의 렌즈제어장치로서, (A) 전자렌즈에 인가되는 전원의 특성을 제어하는 전자렌즈제어부
와; (B) 상기 조정코일에 연결된 전원특성조정유닛을 통하여 조정코일에 인가되는 전원의 주파수값 및 전류값을
제어하는 조정코일제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 PED패턴 획득을 용이하게 하는 TEM의 렌즈제어장치이
다.
본 발명에 의한 장치를 적용하면, TEM에서 전자빔 회전각 및 회전속도를 정밀하게 제어하고 제어결과를 표시할
수 있기 때문에 한 번의 시료장착으로 물질의 3차원 구조를 빠르고 정확하게 해석할 수 있게 된다.
등록특허 10-1332277