본 발명은 시료를 TEM으로 관찰 시 하나의 그리드에 복수개의 시료를 로딩시킴으로써 1회의 TEM 장비 세팅으로 복수개의 시료를 관찰할 수 있도록 하는 시료를 로딩하는 방법 및 시료로딩장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, (A) 수평으로 놓여진 그리드의 일영역 수직상부의 소정 높이에, 상기 그리드의 유효부 면적의 1/2미만 크기의 개구가 하나 또는 복수개 형성된 마스크를 수평으로 장착하는 단계; (B) 상기 마스크 개구의 수직상부의 소정 높이에, 연무판이 아래를 향하도록 초음파진동자를 수평으로 장착하는 단계; (C) 상기 초음파진동자의 상면에 시료액을 로딩하고 초음파진동자를 작동시키는 단계; (D) 상기 그리드의 일영역과 겹치지 않는 타영역에서, 초음파진동자와 마스크를 교체 또는 세척하고, 다른 시료액으로, 상기 단계(A)~(C)를 반복하는 단계;를 포함하는, 1개의 TEM 관찰용 그리드에 복수개의 시료를 로딩하는 방법 및 이를 위한 시료로딩장치에 관한 것이다.