본 발명은, TEM 경통에 밀폐결합되는 몸체부, 일말단에 카본필름이 장착되는 간극판(aperture plate), 상기 간극판을 가열하는 가열부, 상기 몸체부와 간극판을 단열결합시키는 단열연결부를 포함하는, TEM을 이용한 크라이오(cryo) 관찰시 화상의 대조비 향상을 위한 위상판(phase plate)에 있어서, ① 상기 가열부는, TEM 경통에 상기 몸체부가 밀폐결합될 때 경통의 외부에 위치하도록 상기 몸체부에 내장되어 있고, ② 상기 간극판의 타말단이 상기 몸체부의 내부로 확장되어 상기 가열부와 맞닿아 있는, 가열구조가 개선된 위상판(phase plate)에 관한 것이다.
본 발명에 의해 위상판 작동시 가열부(30)의 전기장에 의한 TEM 왜곡현상을 없애면서 카본필름을 청정하게 유지할 수 있으므로 생체시료의 cryo 관찰시 대비차를 극대화할 수 있게 된다.