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Orbitrap/TOF-SIMS를 이용한 이차전지 음극 파우더 소재의 이미지 분석법

관리번호
첨부파일
개발년도
2021
저자정보
진종성, 성지영
참고문헌
없음
관련장비
오비트랩/비행시간차 혼성 이차이온질량분석기, 비행시간차이차이온질량분석기
응용분야
음극 파우더 소재의 TOF-SIMS 분석 및 기타 파우더 소재의 이온 이미지 분석법에 활용 예정
연구분야
나노표면분석
분석/적용분야
기술분야
분석/공동연구지원
패턴 기판 제작 등 : DGIST 임희진 박사
요약
패럴린 패턴닝 방법의 시료전처리법을 개발하였고, 이들 시료를 이용하여 Orbitrap/TOF-SIMS 분석결과를 얻었으며, 특히 AgC 등의 시료에서 Ag와 C의 이온들의 거동을 살펴 이미지를 얻을 수 있었음.
키워드
Orbitrap/TOF-SIMS, 화학기상증착법, Hybrid SIMS, 이미지 분석 Orbitrap/TOF-SIMS, Chemical Vapor Deposition, Hybrid SIMS, Image analysis
연구개발성과
연구사업 수행 완료 후 연구보고서 작성 등
내 용
AgC 등 이차전지 음극 파우더 소재의 균질성 및 불순물 검사 등을 위하여 Orbitrap/TOF-SIMS 분석을 위하여 제시된 시료전처리 방법이 없었으나, DGIST 임희진 박사와 공동으로 패럴린 패턴닝 방법의 시료전처리법을 개발하였고, 이들 시료를 이용하여 Orbitrap/TOF-SIMS 분석결과를 얻었으며, 특히 본 분석법 개발에서 제시된 바와 같이 AgC 등의 시료에서 Ag와 C의 이온들의 거동을 살펴 이미지를 얻을 수 있었음.
향후 추가적인 연구를 통하여 Hybrid SIMS의 Orbitrap 분석법으로부터 불순물 이온의 분석 등 다양하게 응용할 수 있을 것으로 사료됨.