KBSI 성과확산중소기업지원

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지식재산권
구분	특허
기술명 (국문)	RF 플라즈마 이온원
기술명 (영문)	RF PLAZMA ION SOURCE
등록번호	10-2451250	등록일자	20220930
국가	대한민국
발명자	이경복,이병섭,김현식
발명의 내용
KIPRIS 정보	정보보기

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