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지식재산권
구분 특허
기술명 (국문) 온도 분포 측정 장치 및 방법
기술명 (영문) TEMPERATURE DISTRIBUTION MEASURING APPARATUS AND METHOD
등록번호 3190395 등록일자 20200422
국가 독일
발명자 장기수,김동욱
발명의 내용 샘플의 온도 분포 또는 발열 분포를 측정하는 온도 분포 측정 장치가 개시된다. 일 실시예는 샘플에 인가된 바 이어스 신호를 기초로 반사율이 변화하는 반사 신호를 수집하고, 상기 반사 신호에서 상기 샘플의 관심 영역으로 부터 반사된 관심 신호를 검출하며, 상기 관심 신호를 주파수 영역 신호로 변환하고, 상기 주파수 영역 신호에 대한 필터링을 기초로 추출된 직류 성분 및 상기 바이어스 신호의 주파수 성분을 이용하여 상기 샘플의 상대적인 반사율 변화량을 연산하고, 상기 상대적인 반사율 변화량에 기초하여 상기 샘플의 발열 이미지를 획득한다.
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