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지식재산권
구분 특허
기술명 (국문) 레이저 스캐닝 기반 현미경 장치 및 이의 동작 방법
기술명 (영문) MICROSCOPE APPARATUS BASED ON LASER SCANNING AND OPERATING METHOD THEREOF
등록번호 10761309 등록일자 20200901
국가 미국
발명자 김동욱,장기수
발명의 내용 레이저 스캐닝 기반 현미경 장치가 개시된다. 일 실시예는 레이저 신호를 출력하는 광원부; 교류 바이어스 신호가 인가되어 열이 발생하는 샘플을 상기 출력된 레이저 신호의 일부에 해당하는 제1 레이저 신호로 스캐닝을 수행하고, 상기 스캐닝에 의해 상기 샘플로부터 반사된 광 신호를 제1 검출부로 출력하는 스캔부; 상기 반사된 광 신호를 통해 제1 전기적 신호를 생성하는 제1 검출부; 상기 출력된 레이저 신호의 나머지 일부에 해당하는 제2 레이저 신호를 통해 제2 전기적 신호를 생성하는 제2 검출부; 및 상기 제1 전기적 신호와 차동 전기적 신호를 기초로 주파수 영역 분석을 수행하여 상기 샘플의 열영상을 획득하는 제어부를 포함한다. 상기 차동 전기적 신호는 상기 제1 전기적 신호와 이득이 적용된 상기 제2 전기적 신호 사이의 차이에 해당한다.
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