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지식재산권
구분 특허
기술명 (국문) 수직자성박막 자화의 크기를 측정하는 방법 및 장치
기술명 (영문) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING ABSOLUTE VALUE OF MAGNETIZATION IN PERPENDICULAR THIN FILM
등록번호 10-2169505 등록일자 20201019
국가 대한민국
발명자 박승영,문경웅,황찬용,민병철
발명의 내용 본 발명의 실시예에 따른 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법은, xy 평면에서 연장되는 수직자성박막에, y 방향으로 연장되고 z 방향으로 자화되는 제1 자구(magnetic domain)와, 상기 y 방향으로 연장되고 상기 z 방향과 반대 방향으로 자화되는 제2 자구가, x 방향으로 교대로 배열되는 스트라이프 패턴을 형성하는 단계; 상기 수직자성박막에 z 방향으로 소정의 크기의 자기장을 인가함으로써 상기 제1 자구 및 상기 제2 자구의 x 방향의 폭을 변화시키는 단계; 및 상기 제1 자구와 상기 제2 자구의 x 방향의 폭의 비율에 기초하여 상기 수직자성박막의 자화의 절대값을 산출하는 단계를 포함한다.
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