| 구분 | 특허 | ||
|---|---|---|---|
| 기술명 (국문) | 전자현미경 정렬 장치 및 이를 포함하는 전자현미경 | ||
| 기술명 (영문) | ALIGNMENT APPARATUS FOR ELECTRON MICROSCOPE AND ELECTRON MICROSCOPE COMPRISING THE SAME | ||
| 등록번호 | 10-2093346 | 등록일자 | 20200319 |
| 국가 | 대한민국 | ||
| 발명자 | 한철수,김진규,정종만,이상철 | ||
| 발명의 내용 | 일 실시 예에 따른 전자현미경 정렬 장치는, 코일과, 상기 코일을 수용하는 내통과, 상기 내통을 수용하는 외통을 포함하고, 전자빔의 경로를 안내할 수 있는 전자기 편향 코일 모듈; 상기 내통을 상기 외통에 대해 상대적으로 이동시키는 내통 구동부; 상기 전자기 편향 코일 모듈에 장착되고, 상기 내통의 내측면을 커버하는 튜브; 상기 튜브의 내측면에 고정되어 상기 전자빔의 일부를 차단하는 조리개; 및 상기 튜브를 상기 전자기 편향 코일 모듈에 대해 상대적으로 이동시키는 튜브 구동부를 포함할 수 있다. | ||
| KIPRIS 정보 | 정보보기 | ||
042.865.3500