| 구분 | 특허 | ||
|---|---|---|---|
| 기술명 (국문) | 광학 시편 표면 검사 장치 및 그 제어 방법 | ||
| 기술명 (영문) | INSPECTION APPARATUS FOR SURFACE OF OPTIC SPECIMEN AND CONTROLLING METHOD THEREOF | ||
| 등록번호 | 10-2116618 | 등록일자 | 20200522 |
| 국가 | 대한민국 | ||
| 발명자 | 정병준,장기수,김건희,김동욱,김이종,김홍승 | ||
| 발명의 내용 | 일 실시 예에 따른 광학 시편 표면 검사 장치는, 광학 시편으로부터 반사된 레이저의 진행 거리별로 레이저 파면 정보를 획득할 수 있다. | ||
| KIPRIS 정보 | 정보보기 | ||
042.865.3500