| 발명의 내용 |
본 발명은 화합물 반도체용 금속소재의 고순도화 장치에 관한 것으로, 가열 용해된 원료용액에 종자결정이 인접하여 연신 되면서 고순도의 결정이 성장되어 회수되는 화합물 반도체용 금속소재의 고순도화 장치에 있어서, 내측에 공간이 구비되며 일 측이 개방 및 폐쇄되는 클린챔버; 상기 클린챔버의 내부 일 측에 구비되어 상기 클린챔버의 길이방향으로 연장되면서 일측 외주면에 레크기어가 구비되는 이송가이드; 상기 이송가이드의 양 측면에 형성되는 가이드홈을 커버하며, 상기 이송가이드의 길이방향을 따라 상부 또는 하부로 슬라이드 되어 이송되는 승강수단; 상기 승강수단의 일 측에 결합되어 하부로 연장되며, 단부에 상기 종자결정이 결합되고, 상기 종자결정에서 성장되어 가변 되는 결정의 무게를 측정하여 상기 승강수단의 높이가 제어되도록 상기 승강수단으로 제어신호를 전달하는 중량감지로드셀을 갖는 결정회수수단; 상기 클린챔버의 내부 일 측에 구비되며, 상기 결정회수수단의 단부에 결합된 상기 종자결정이 상기 원료용액에 인입되어 상기 종자결정이 성장되도록 내측에 원료용액을 수용하여 회전되는 도가니; 상기 도가니의 하부 및 측면을 커버하도록 상기 도가니를 내측에 수용하면서 타측이 상기 클린챔버의 바닥면을 지지하고, 상기 도가니에 수용되는 상기 원료용액이 용해된 상태를 유지시키도록 열을 발생하는 가열부재; 상기 가열부재와 도가니 사이에 구비되며, 하부 일 측이 연장 돌출되어 상기 가열부재의 하부를 관통하고, 상부에 상기 도가니가 안착되어 결합되면서 회전력에 의해 상기 도가니를 회전시키는 회전부재; 상기 클린챔버의 내부 일 측에 구비되어 상기 회전부재에 회전력이 전달되도록 상기 회전부재의 일 측과 상호 연계되는 동력수단을 포함하는 것을 특징으로 하여 가열 용해된 원료용액에 결정의 성장방향이 하방으로 생성되는 종자결정을 접촉시켜 단결정을 육성시키면서 원료용액이 수용되어 회전되는 용탕에서 고순도, 고품질의 결정을 육성하여 회수하는 화합물 반도체용 금속소재의 고순도화 장치에 관한 것이다. |
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