| 구분 | 특허 | ||
|---|---|---|---|
| 기술명 (국문) | 유기물 클러스터 이온 빔 생성 장치 및 방법 | ||
| 기술명 (영문) | DEVICE AND METHOD FOR GENERATING ORGANIC MOLECULAR CLUSTER ION BEAM | ||
| 등록번호 | 10699868 | 등록일자 | 20200630 |
| 국가 | 미국 | ||
| 발명자 | 최명철,최창민,이상주,김정진,백지영 | ||
| 발명의 내용 | 일 실시 예에 따른 유기물 클러스터 이온 빔 생성 장치는, 유기물을 수용하기 위한 수용부; 상기 수용부에 수용된 상기 유기물을 고속 분사하여 클러스터를 생성하기 위한 클러스터 생성부; 상기 클러스터 생성부를 통과하여 생성된 클러스터를 임시적으로 수용하기 위한 광이온화부; 상기 광이온화부로 자외선을 조사함으로써, 상기 클러스터를 이온화시키기 위한 자외선 광원부; 및 상기 광이온화부의 양측에 마련되어, 상기 광이온화부에 전위차를 제공함으로써, 클러스터 이온 빔을 생성하기 위한 입구 전극부를 포함할 수 있다. | ||
| KIPRIS 정보 | |||
042.865.3500