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구분 특허
기술명 (국문) 유기물 클러스터 이온 빔 생성 장치 및 방법
기술명 (영문) DEVICE AND METHOD FOR GENERATING ORGANIC MOLECULAR CLUSTER ION BEAM
등록번호 10699868 등록일자 20200630
국가 미국
발명자 최명철,최창민,이상주,김정진,백지영
발명의 내용 일 실시 예에 따른 유기물 클러스터 이온 빔 생성 장치는, 유기물을 수용하기 위한 수용부; 상기 수용부에 수용된 상기 유기물을 고속 분사하여 클러스터를 생성하기 위한 클러스터 생성부; 상기 클러스터 생성부를 통과하여 생성된 클러스터를 임시적으로 수용하기 위한 광이온화부; 상기 광이온화부로 자외선을 조사함으로써, 상기 클러스터를 이온화시키기 위한 자외선 광원부; 및 상기 광이온화부의 양측에 마련되어, 상기 광이온화부에 전위차를 제공함으로써, 클러스터 이온 빔을 생성하기 위한 입구 전극부를 포함할 수 있다.
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