| 구분 | 특허 | ||
|---|---|---|---|
| 기술명 (국문) | 웨이퍼 검사장치 | ||
| 기술명 (영문) | Wafer Inspection Apparatus | ||
| 등록번호 | 10641714 | 등록일자 | 20200505 |
| 국가 | 미국 | ||
| 발명자 | 박승영,김상일,조영훈,민병철 | ||
| 발명의 내용 | 본 발명은 웨이퍼검사장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 자성박막이 형성된 웨이퍼의 일측면에 대하여 자기력선이 수직 또는 평행한 방향으로 진행하도록 자기장을 형성시키는 자기장발생부; 상기 웨이퍼의 적어도 일부 영역으로서 상기 자기장발생부에 의하여 형성된 자기장에 의한 영향이 미쳐지는 영역인 측정영역에 대하여, 마이크로파(microwave)를 주사시키는 마이크로파가이드부; 및 상기 마이크로파가이드부에 의해 상기 측정영역에 주사되어 반사(reflected) 또는 전도(transmitted)된 파(wave)를 수신하는 감지부;를 포함하므로 웨이퍼를 손상시키지 않는 비파괴방식으로 웨이퍼 상에 형성된 자성박막의 자기적 성질을 측정검사할 수 있으며, 자성박막이 형성된 웨이퍼 그 자체에 대하여 그대로 측정을 실시할 수 있으므로 생산성과 품질을 증진시켜줄 수 있는 기술이 개시된다. | ||
| KIPRIS 정보 | |||
042.865.3500