| 구분 | 특허 | ||
|---|---|---|---|
| 기술명 (국문) | 기체 클러스터 이온 빔을 이용한 나노 구조 촉매 제조 방법 | ||
| 기술명 (영문) | MANUFACTURING METHOD OF NANO STRUCTURE CATALYST USING GAS CLUSTER ION BEAM | ||
| 등록번호 | 10-2020714 | 등록일자 | 20190904 |
| 국가 | 대한민국 | ||
| 발명자 | 최명철,최창민,이상주,박은지,김정진,김정환,백지영 | ||
| 발명의 내용 | 본 발명은 기체 클러스터 이온 빔을 이용한 기술에 관한 것으로서, 본 발명의 일 측면에 따르는 기체 클러스터 이온 빔을 이용한 나노 구조 촉매 제조 방법은, 금속 나노 입자가 표면에 형성된 실리콘 기판을 준비하는 단계; 및 목적하는 촉매의 표면 형태 및 활성도에 따라 상기 금속 나노 입자에 기체 클러스터 이온 빔을 조사하여 식각 하는 단계;를 포함한다. | ||
| KIPRIS 정보 | 정보보기 | ||
042.865.3500