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Open World-class Research Platform, KBSI

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지식재산권

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구분 특허
기술명 (국문) 이차 이온 질량 분석기 및 그 제어 방법
기술명 (영문) SECONDARY ION MASS SPECTROMETER AND CONTROLLING METHOD THEREOF
등록번호 10-1936525 등록일자 20190102
국가 대한민국
발명자 최명철,이상주,박은지,최창민,김정진,어재영,백지영
발명의 내용 일 실시 예에 따른 이차 이온 질량 분석기는, 시료가 놓인 거치부를 지지하기 위한 거치부와 복수의 포트를 구비 하는 챔버; 상기 복수의 포트 중 하나에 배치되고, 상기 시료를 향해 조사되는 이온 빔을 발생시키는 이온빔 발 생부; 상기 복수의 포트 중 상측에 위치한 포트에 배치되고, 상기 이온 빔이 상기 시료에 조사되어 상기 시료로 부터 방출되는 이차 이온이 비행하는 공간을 제공하는 비행 채널; 상기 비행 채널을 통해 비행하는 이차 이온을 검출하는 이차 이온 검출부 및; 상기 거치부의 주변 공간에 플라즈마를 발생시킴으로써, 상기 이온 빔에 의해 상 기 시료 상에 축적된 전하를 보상시키는 플라즈마 발생부를 포함할 수 있다.
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