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Open World-class Research Platform, KBSI

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지식재산권

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구분 특허
기술명 (국문) 레이저 위상잠금 열화상기법을 이용한 열확산 검출장치
기술명 (영문) Instrument for thermal diffusivity measurement using laser lock-in thermography
등록번호 10-1833445 등록일자 20180222
국가 대한민국
발명자 김건희,이계승,허환,김선진
발명의 내용 본 발명은 열확산율 검출장치와 이를 이용한 열확산율 측정방법에 관한 것으로서, 서로 다른 열물성을 가지는 기 판 또는 웨이퍼가 적측되어 이루어진 반도체의 평균 열확산율을 구할 수 있는 장치와 방법에 관한 것이다.
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