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Open World-class Research Platform, KBSI

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지식재산권

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구분 특허
기술명 (국문) 온도 분포 측정 장치 및 방법
기술명 (영문) TEMPERATURE DISTRIBUTION MEASURING APPARATUS AND METHOD
등록번호 10139284 등록일자 20181127
국가 미국
발명자 장기수,김동욱
발명의 내용 레이저 스캐닝 공초점 열반사 검출원리에 의해 반사율 변화 측정 민감도를 향상시킬 수 있고 퓨리에 도메인 필터링 방법에 의해 비동기식으로 광 검출기의 신호를 복원하여 단일 프로세스로 온도분포를 측정할 수 있는 신규성이 있음. 또한 기존 기술은 반도체 소자 표면의 온도분포만 측정을 하는 반면, 본 발명은 핀 홀에 의한 공초점 검출원리와 퓨리에 도메인 필터링 방법을 이용해 반도체 소자 내부의 관심영역에 대한 온도분포를 측정할 수 있다는 진보성을 갖고 있음
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