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지식재산권

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구분 특허
기술명 (국문) 전자 맴돌이 공명 이온원 장치 및 그의 제조방법
기술명 (영문) Apparatus of Electron Cyclotron Resonance Ion Source and Manufacturing Method thereof
등록번호 10-0927995 등록일자 20091116
국가 대한민국
발명자 김종필,윤장희,원미숙,이병섭,배종성,이효상,박진용,방정규
발명의 내용 본 발명에 따른 전자 맴돌이 공명 이온원 장치는, 자기장을 발생하는 자석을 포함하는 자석부; 플라즈마와 전자 맴돌이 공명으로 이온을 생성하는 이온화 챔버하우징부; 이온 생성을 위하여 상기 이온화 챔버하우징부에 마이크 로파를 주입하는 마이크로파 발생부; 생성된 이온을 처리하는 빔 집적 및 가이드 장치부를 포함할 수 있다. 상기 자석부는, 회전체이고 자석부를 구성하기 위한 권취의 중심이 되는 권틀; 상기 권틀을 복수 개의 구역으로 나누는 가변형 스페이서; 및 상기 가변형 스페이서에 의해 형성된 상기 복수 개의 구역에 선재 또는 테이프로 권 취되는 자석을 포함할 수 있다.
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