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구분 특허
기술명 (국문) 복합현미경 장치
기술명 (영문) COMPOSITE MICROSCOPE APPARATUS
등록번호 10-1818406 등록일자 20180108
국가 대한민국
발명자 권희석,정종만
발명의 내용 일 실시 예에 따른 복합현미경 장치는, 시료를 고정 및 지지할 수 있는 시료 스테이지 및 상기 시료 스테이지에 대하여 상대적으로 이동함으로써 상기 시료를 절삭할 수 있는 블레이드 장치를 포함하는 시료 절삭 모듈; 상기 시료 절삭 모듈에 대하여 상대적으로 이동 가능하고, 상기 시료 절삭 모듈의 상부에 위치함으로써 상기 시료 절 삭 모듈에 수용된 상기 시료를 관찰할 수 있는 광학현미경 장치를 포함하는 광학현미경 모듈; 및 상기 시료 절삭 모듈에 대하여 상대적으로 이동 가능하고, 상기 시료 절삭 모듈의 상부에 위치함으로써 상기 시료 절삭 모듈에 수용된 상기 시료를 관찰할 수 있는 관측 컬럼을 포함하는 주사전자현미경 모듈을 포함할 수 있다.
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