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Open World-class Research Platform, KBSI

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지식재산권

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구분 특허
기술명 (국문) 위상측정 광선편향법을 이용한 표면 검사 장치의 교정 방법 및 시스템
기술명 (영문) METHOD AND SYSTEM FOR CALIBRATION OF SURFACE MEASUREMENT DEVICE USING PHASE MEASURING DEFLECTOMETRY
등록번호 10-1833245 등록일자 20180222
국가 대한민국
발명자 김건희,현상원,김이종,김승현
발명의 내용 스크린, 카메라 및 형상 측정 장치를 포함하며, 위상측정 광선편향법을 이용하여 측정 대상물의 표면 형상을 측 정하는 표면 검사 장치의 교정 방법은, 이상적 격자 패턴(ideal grid pattern) 구조체를 이용하여 상기 카메라에 의하여 발생되는 오차 인자를 교정하는 카메라 교정 단계; 참조 기준면(reference flat)을 측정 위치에 배치하고, 상기 표면 검사 장치를 통해 상기 참조 기준면의 표면 형상을 측정하는 가-측정 단계; 상기 참조 기준 면을 기초로 형상 측정 기준면(reference plane)을 정의하고, 상기 측정 대상물을 상기 측정 위치에 배치하여 상 기 정의된 형상 측정 기준면에 따라 정렬하는 측정 대상물 정렬 단계; 상기 표면 검사 장치를 통해 상기 정렬된 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 실-측정 단계;를 포함한다.
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