본문 바로가기 주메뉴 바로가기 하위메뉴 바로가기


Open World-class Research Platform, KBSI

성과정보

성과정보 통합검색
성과정보 통합검색

지식재산권

지식재산권

지식재산권
구분 특허
기술명 (국문) 영상정보를 이용한 하전입자소스모듈 정렬 장치 및 정렬방법
기술명 (영문) ALIGNMENT DEVICE AND METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM SOURCE MODULE USING IMAGE INFORMATION
등록번호 10-1839693 등록일자 20180312
국가 대한민국
발명자 한철수,정종만,김진규,이상철
발명의 내용 하전입자소스모듈의 정렬 장치 및 방법을 개시한다. 일 실시예에 따른 하전입자소스모듈 정렬 장치는, 베이스, 상기 베이스로부터 이격되고, 상기 모듈 케이스를 지지하는 지지플레이트, 상기 베이스에 설치되며, 상기 모듈 케이스에 대한 상기 필라멘트 조립체의 상대적인 수평 위치를 조절 하는 위치조절모듈, 상기 지지플레이트에 설 치되고, 상기 모듈 케이스에 대한 상기 웨넬트의 상대적인 수직 높이를 조절하는 높이조절모듈 및 상기 첨두와 상기 웨넬트에 대한 영상정보를 수집하는 영상수집모듈을 포함할 수 있다.
KIPRIS 정보 정보보기
목록
만족도조사

이 페이지에서 제공하는 정보에 대하여 만족하십니까?

관련기관 relative organ

배너 제어

재생 정지
more