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지식재산권

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구분 특허
기술명 (국문) 발열 분포 측정을 이용한 불량분석 장치 및 방법
기술명 (영문) Failure Analysis Appratus and Method Using Measurement of Heat Generation Distribution
등록번호 9933376 등록일자 20180403
국가 미국
발명자 김건희,최우준,유선영,장기수
발명의 내용 본 발명은 발열 분포 특성으로 통해 불량 여부를 확인하고자 하는 시료를 탑재하는 시료 탑재부와 가시광을 시료 에 조사시키기 위한 광원과 시료를 주기적으로 발열을 야기 시키기 위한 구동신호를 발생시키는 전원공급부와 시 료의 표면으로부터 반사된 광을 검출하는 검출부 및 검출부와 전원공급부의 구동신호를 동기화를 위한 신호발생 기를 포함하는 발열 분포 측정을 이용한 불량 분석 방법을 제공한다.
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