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중소기업지원 우수사례

성과명
반도체 장비 공정개발
업체명
(주)유진테크
부서명/연구책임자
대구센터/이상걸 박사
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(주)유진테크의 반도체 장비 공정개발에 있어서 한국기초과학지원연구원의 연구장비 지원과 더불어

전문적인 기술지원을 받았으며, 이를 통해 실험 및 분석 방향을 설정하는데 많은 도움을 받았다.

특히, 대구센터는 반도체 장비를 개발하는데 있어서 중요한 역할을 하였으며,

이를 통해 시료의 신속한 데이터 분석과 정확한 방향 설정으로 우수한 장비를 개발할 수가 있었다.

또한, 대구센터 ‘고분해능 X-선 회절분석기’(HR-XRD)의 특징과 분석방법 설명은 반도체 장비 공정개발에 큰 도움이 되었다.
  • 고분해능 X-선 회절분석기

    고분해능 X-선 회절분석기

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